精制硫酸具有以下一些特点：
高纯度：杂质含量极低，以满足半导体、超大规模集成电路等微电子工业的严格要求。
无色透明油状液体：纯硫酸为无色透明油状液体。
强吸水性和氧化性：具有强吸水性，能使棉布、纸张、木材等碳水化合物脱水碳化；同时具有氧化性，能和绝大多数金属发生反应。
良好的蚀刻和清洗性能：可用于电子硅晶片生产过程的清洗和蚀刻。例如，与过氧化氢按比例组成的清洗液，能在一定温度下将金属氧化后溶于溶液中，并把有机物氧化成二氧化碳和水；也可借助化学反应从硅圆片表面除去固体物质。
其生产工艺主要包括精馏法与气体吸收法。精馏法又分为常压精馏和减压精馏两种，在精馏过程中常需外加强氧化剂将硫酸中的低价态硫和有机物氧化成硫酸；气体吸收法则是采用超纯水或超纯硫酸直接吸收洁净的三氧化硫，该方法可用于大规模生产。
在半导体、超大规模集成电路的装配和加工过程中，电子级硫酸被广泛应用。随着中国微电子工业的高速发展，其需求量日益增加。
在使用电子级硫酸时，需要严格遵守相关操作规程，防止其强烈的腐蚀性和氧化性对人体和设备造成损害。同时，对其质量的检测也非常重要，通常采用原子吸收光谱法、电感耦合等离子体质谱法等检测杂质离子含量。
